Q. 반도체 공정엔지니어가 설비엔지니어에게

답변 6

• 탁

  탁기사삼성전자

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  일치

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  예로들면 설비 문제가 확실 한 것들,, 에칭 하다가 유량은 잘 나오고 파워도 잘 나오고 설비 문제가 없는데 어떤 건 많이 깎이고 어떤건 덜 깎였다? 그러면 이제 어디서 문제인지 , 구조적 문제는 없는지, 앞 뒷단 공정이 에칭에 영향을 주지 않았는지.. 이런것들이 공정 엔지니어가 판단하는 것이고 FDC spec상 딱 보았는데 파워가 1000W나와야 하는데 고작700W 나와서 덜 깎였다? 그러면 바로 설비쪽에 확인을 요청하고 이러한 느낌입니다.~

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• 흰

  흰수염치킨삼성전자

  코전무 ∙ 채택률 58% ∙

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  일치

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  안녕하세요. 멘토 흰수염치킨입니다. 너무 광범위한 질문이라.... 실제 이슈가 발생하면 발생원인 추정을 하고 그 원인이 설비 기인이면 설비팀이 처리하는거에요 도움이 되었으면 좋겠네요. ^_^

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• 고

  고래왕크삼성전자

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  일치

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  안녕하세요. 공정 의뢰 후 공정 데이터 산포나 계측값 이상을 통해서 이상현상이 발생했다고 보통 알 수 있습니다 ㅎㅎ 채택부탁드려요.

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• P

  PRO액티브현대트랜시스

  코전무 ∙ 채택률 100%

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  설비 문제는 장비 센서·모터·컨트롤 이상, 파라미터 미반영, 장비 동작 오류 등에서 판단할 수 있습니다. 레시피 파라미터가 설비에서 제대로 동작하지 않으면 장비 로그, 센서 값, 공정 결과 데이터로 확인 가능하며, 그 외에도 압력·온도·유량 등 장비 물리치가 기준치와 벗어나거나 반복 에러 발생 시 설비 문제로 볼 수 있습니다.

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• 도

  도다리쑥국삼성전자

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  누가봐도 설비가 이상한 순간들이 있습니다. 설비 자체에 알림에 뜹니다.

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• 황

  황금파이프삼성전자

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  일치

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  안녕하세요. 공정레시피에는 여러 가지 파라미터가 있고, 특정 값으로 진행하는데요 이 값을 벗어나는 것을 감지하기 위해 설비 spec을 설정해둡니다. 공정이 실시간으로 진행하면서 각 파라미터가 spec 내에서 정상적으로 진행하고 있는지 설비에서 실시간 모니터링을 진행하며, 공정 레시피에 없는 설비 파라미터 또한 spec을 설정해두고 실시간 감지를 진행합니다. 레시피 값은 몇몇 가변 파라미터를 제외하면 고정이기 때문에 만약 spec을 벗어났다면 대부분 설비에서 공정을 진행하다가 여러가지 사유로 인해 문제가 발생한 것이고, 이는 설비에서 발생한 문제라고 판단합니다. 도움되었다면 채택 부탁드립니다.

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  반도체

  설계팀

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